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韩国Ellipso光谱反射膜厚仪Elli-RI
| 产品型号： |
Elli-RI |
| 品 牌： |
韩国Ellipso |
|
|
| 所 在 地： |
北京 |
| 更新日期： |
2020-06-19 |
更多信息详见官网www.longsun.asia
| 指标特点 |
Elli-RSc |
Elli-RI |
Elli-RP |
Elli-RPX |
| 类型 |
可观测类型 |
柔性样品，太阳能电池 |
在线膜厚测量系统 |
在线膜厚测量系统 |
| 波长范围 |
450 ~ 900 nm |
450 ~ 900 nm |
400 ~ 900 nm |
190 ~ 1050 nm(紫外线选项) 或者 380 ~ 1050 nm |
| 光斑尺寸 |
50 um, 30 um, 10 um |
4mm |
1.0 mm |
1.0 mm |
| 测量速度 |
< 1秒/点
（取决于膜层） |
1 s/点
（取决于膜层） |
1 s/点
（取决于膜层） |
1 s/点
（取决于膜层） |
| 重复性 |
10点测量
±1 Å |
10次测量
在(3σ) ± 0.3 nm |
10次测量
在±1 Å之内 |
10次测量
在±0.5 Å之内 |
| 层数 |
至多3层
（取决于膜层） |
多至3层
（取决于膜层） |
多至3层
（取决于膜层） |
多至5层
（取决于膜层） |
| 膜厚范围 |
10 nm ~ 50 μm
（取决于膜层） |
20 nm ~ 50 μm
（取决于膜层） |
20 nm ~ 20 μm
（取决于膜层） |
1 nm ~ 20 μm
（取决于膜层） |
| 测量常数 |
膜厚，对波长λ的反射率，折射率，消光系数 |
反射率，膜厚，n，k vs λ |
膜厚，对波长λ的反射率，折射率，消光系数。 |
膜厚，对波长λ的反射率，折射率，消光系数。 |
| 应用 |
半导体、显示、电介质、聚合物、化合物、太能能电池 |
太阳能电池、半导体、电介质、显示、聚合物、化合物 |
半导体材料、显示、介质、聚合物、化合物、太阳能电池、光学涂层 |
